RPS-SONIC: A Benchmark for Industrialization of Ultrasonic Atomization Spraying Of TCO Thin Films

I vågen av industrialisering av TCO-tekniken för förberedelse av transparent ledande film har RPS-SONIC, med sin riktade teknikforskning och utveckling och scenariebaserade-design, gjort sin sprututrustning för ultraljudsförstoftning till ett centralt val av utrustning inom solceller, displayer och konstruktion. Den uppfyller inte bara branschens kärnkrav för "hög ljusgenomsläpplighet, låg arkmotstånd och grön effektivitet", utan främjar också övergången av TCO-tunnfilmsberedning från laboratoriet till storskalig-produktion genom exakt parameterkontroll och stabil drift.

RPS-SONIC ultraljudssprututrustning för finfördelning, baserad på hög-vibrationsförstoftningsteknik, har bildat en differentierad produktmatris för TCO-tunnfilmsförberedelsebehov, med dess kärntekniska egenskaper som visar särskilt enastående anpassningsförmåga till TCO-förberedelser. Utrustningen använder huvudsakligen två högfrekventa vibrationsscheman: 40kHz och 60kHz. Bland dem kan det 40 kHz-fokuserade ultraljudsförstoftningsmunstycket, genom en speciell konstriktionsflödeskanaldesign, få bärgasen att samla ihop och finfördela TCO-prekursorlösningen (som ITO, AZO, FTO-sol) till enhetliga droppar på 15-40 μm. Droppfördelningens enhetlighetsfel kontrolleras inom ±3 %, vilket perfekt matchar de exakta tjocklekskraven för TCO-filmer på 10nm-500nm. För TCO-prekursorlösningar med låg-viskositet (0 cps) uppnår utrustningen exakt flödeskontroll på 0,5-20 ml/min. I kombination med en justerbar spruthöjd på 30-80 mm och en lågtrycksflödesstyrningsdesign på 0,5 MPa undviker den droppstänkproblemen med traditionell trycksprutning samtidigt som den säkerställer tät avsättning av droppar på substratytan. Detta resulterar i TCO-filmarkmotståndsfluktuationer som kontrolleras inom ±5 %, och synlig ljustransmittans stabiliserad på 85 %-95 %, vilket helt uppfyller prestandakraven för avancerade applikationer som solceller och flexibla skärmar.

RPS-SONIC bygger vidare på kärnfördelarna med TCO-filmberedning och förstärker det industriella värdet av ultraljudsförstoftningsteknik ytterligare. För det första har utrustningen betydande fördelar i materialutnyttjande och kostnadskontroll. Genom "trycklös finfördelning" och fokuserad sprutdesign når TCO-prekursorlösningens utnyttjandegrad upp till 90 %, vilket sparar över 80 % av materialförbrukningen jämfört med traditionella magnetronförstoftningsprocesser. Detta är särskilt fördelaktigt vid framställning av ITO-tunna filmer, där indiumresurserna är knappa, eftersom det avsevärt minskar förlusten av ädelmetaller, vilket sänker produktionskostnaderna för företag. För det andra uppvisar den extremt stark substratkompatibilitet. Utrustningen använder mycket låg kinetisk energi för droppar under finfördelning, vilket representerar en typisk beredningsprocess vid låg-temperatur. Detta gör den lämplig inte bara för styva substrat som glas- och kiselwafers utan även för flexibla substrat som PET och PI. Detta löser smärtpunkterna för traditionella processer i flexibel TCO-tunnfilmsförberedelse, som lätt leder till substratdeformation och prestandaförsämring, vilket ger en pålitlig lösning för TCO-tunnfilmsproduktion inom områden som flexibla OLED-skärmar och bärbara enheter. För det tredje kombinerar den skalbarhet och stabilitet. Utrustningen stöder multi-munstycksuppsättningar, med en enkel spraybredd på 1-3 meter. I kombination med en justerbar effektdesign på 10-100W, kan den möta behoven hos små-satsningar av FoU i laboratorier samt storskalig produktion av stora enheter som solcellsmoduler och arkitektoniskt glas. Dessutom har utrustningen inga rörliga delar som utsätts för slitage och munstyckena är mindre benägna att täppa igen, vilket minskar produktionsstopp och säkerställer stabiliteten i kontinuerlig produktion.

När det gäller industriapplikationer har RPS-SONIC ultraljudssprututrustning för finfördelning etablerat flera riktmärken inom TCO-tunnfilmsförberedelseområdet. Inom solcellsindustrin används dess utrustning för att spruta det AZO/TCO transparenta ledande lagret av perovskitsolceller. Genom att exakt kontrollera droppstorleken och avsättningshastigheten förbättras den fotoelektriska omvandlingseffektiviteten hos cellerna med 2-3 procentenheter. För närvarande har det gått in i 1GW-nivå perovskite-kiselheterojunction tandemcellpilotlinje för ett ledande inhemskt solcellsföretag, vilket hjälper till att uppnå storskalig massproduktion. I visningsfältet, för beredning av ITO/PET-kompositfilmer för flexibla OLED-skärmar, kan utrustningen fortfarande säkerställa att arkresistansförändringshastigheten för TCO-filmen är mindre än 10% och ljustransmittansen förblir över 92% på ett flexibelt substrat med en böjningsradie på 5 mm.

Detta hjälper efterföljande tillverkare att förbättra utbytet av flexibla skärmar från 75 % med traditionella processer till 88 %, och blir ett kärnutrustningsstöd för den flexibla bildskärmsindustrins kedja. Inom området arkitektoniskt smart glas används utrustningen för sprutning av AZO transparenta ledande filmer för elektrokromt glas, vilket uppnår tjockleksfelkontroll på ±2nm. Detta resulterar i en elektrokrom svarshastighet på mindre än eller lika med 10 sekunder och en livslängd på över 100 000 cykler. Samtidigt säkerställer filmens höga ljusgenomsläpplighet och korrosionsbeständighet den långsiktiga-stabila driften av det smarta glaset, och det har använts för produktion av smarta fönster i många-avancerade byggprojekt hemma och utomlands. Hangzhou Gonglus utrustning har dessutom exceptionell mångsidighet, vilket möjliggör inte bara vanliga TCO-tunnfilmsberedning utan även kompositsprutning av funktionella filmer som anti-dimma och anti-korrosionsbeläggningar med TCO-skikt. Till exempel kan den samtidigt spraya ett FTO-transparent ledande skikt och en anti{15}}beläggning på ytan av fotovoltaiskt glas, vilket ytterligare förbättrar enhetens övergripande prestanda. I framtiden, med främjandet av indium-fria TCO-material (som AZO och GZO) och integrationen av AI visuell inspektionsteknik, förväntas Hangzhou Gonglus utrustning uppnå ännu högre prestandamål, inklusive en ljustransmittans som överstiger 98 % och en arkresistans under 5Ω/□, vilket kontinuerligt driver den gröna TCO-tekniken för förädling och tunnförädling.

Som ett industriellt riktmärke inom området för sprutning med ultraljudsförstoftning ger RPS-SONIC-utrustning, med sin exakta parameterkontroll, stabila drift och breda applikationsanpassningsförmåga, kärnstöd för stor-produktion av hög-kvalitet av TCO-transparenta ledande filmer. Dess tekniska lösningar möter inte bara den optoelektroniska industrins nuvarande utvecklingsbehov utan kommer också att spela en avgörande roll i teknisk innovation inom framväxande områden som flexibel elektronik och ny energi i framtiden.